潔凈室的幾個基本概念

1．1 潔凈室

潔凈室(Clean Room)，亦稱無塵車間、無塵室或清凈室。潔凈室是指空氣懸浮粒子濃度受控的房間。它的建造和使用應(yīng)減少室內(nèi)誘入、產(chǎn)生及滯留的粒子。室內(nèi)其他有關(guān)參數(shù)如溫度、濕度、壓力等按要求進行控制。

1．2 潔凈區(qū)

潔凈區(qū)（Clean Zone）是指空氣懸浮粒子濃度受控的限定區(qū)間。它的建造和使用應(yīng)減少室內(nèi)誘入、產(chǎn)生及滯留的粒子。室內(nèi)其他有關(guān)參數(shù)如溫度、濕度、壓力等按要求進行控制。潔凈區(qū)可以是開放式或封閉式。

1．3 懸浮粒子

懸浮粒子（Airborne Particle）是指用于空氣潔凈度分級的空氣中懸浮粒子尺寸范圍在0.1μm～5μm的固體和液體粒子，但不適用于表征懸浮粒子的物理性、化學性、放射性及生命性。

1．4 超微粒子

超微粒子是指具有當量直徑小于0.1μm的粒子。

1．5 微粒子

微粒子是指具有當量直徑大于5μm的粒子。

1．6 含塵濃度

含塵濃度是指單位體積中懸浮粒子的顆數(shù)。

1．7 潔凈度

潔凈度是指以單位體積中大于或等于某粒徑粒子的數(shù)量來區(qū)分的潔凈程度